種別	記事関連
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記事タイトル	超LSI製造技術 サブミクロンへ!!
商品／ゲーム名
関連機種／OS	LSIメモリ
必要環境
バージョン
作者／ライター
取材者、指定される人
著作権関連／原作者／移植元
その他人物／名前
会社名
雑誌名	アイ・オー1980年05月号